Ukrainian
Summary:Виходячи з загальних тенденцій розвитку мікроелектроніки та її обмеженостей, викладені її основні напрямки з позицій екстремальності, технологічності і конкурентоспроможності в рамках традиційних методів і засобів кремнієвої технології на прикладі граничної мікромініатюризації активного елемента-транзистора як засобу підвищення швидкодії, мінімізації фактору якості та досягнення граничних рівнів інтеграції надвеликих інтегральних схем.
Reading audience:Корисна студентам, аспірантам, викладачам для ознайомлення з розвитком сучасного етапу мікроелектроніки як передової технології електронної техніки.
English
Summary:Based on the general trends of microelectronics and its limitations are set forth its main focus in terms of extremity, technology and competitiveness in the framework of traditional methods and means of silicon technology for example, limiting microminiaturization active element transistor as a means to improve performance, minimize the quality factor and to achieve maximum levels of integration VLSI circuits.
Reading audience:Useful to students, graduate students, teachers to familiarize themselves with the current stage of development of microelectronics as the advanced technology of electronic equipment.