Ukrainian
Summary:Ядерний сканувальний мікрозонд є апаратним комплексом, в якому пучки легких іонів, прискорені до енергій декількох мегаелектронвольт, фокусуються до розмірів декількох десятків нанометрів. У запропонованій читачеві монографії розглянуто сучасний стан технології мікрозондів. Наведена теорія розрахунку іонно-оптичних характеристик зондоформувальних систем. Формалізовані задачі оптимізації процесу формування пучка в ядерному мікрозонді. Розглянуто схеми формування мікрозонда.
Reading audience:Книга призначена для фахівців, аспірантів і студентів, які цікавляться технологією ядерних сканувальних мікрозондів.
Russian
Summary:Ядерный сканирующий микрозонд представляет собой аппаратный комплекс, в котором пучки легких ионов, ускоренные до энергий нескольких мегаэлектронвольт, фокусируются до размеров нескольких десятков нанометров. В предлагаемой читателю монографии рассмотрено современное состояние технологии микрозондов. Приведена теория расчета ионно-оптических характеристик зондоформирующих систем. Формализованы задачи оптимизации процесса формирования пучка в ядерном микрозонде. Рассмотрены схемы формирования микрозонда.
Reading audience:Книга предназначена для специалистов, аспирантов и студентов, интересующихся технологией ядерных сканирующих микрозондов.